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舜改屬并州。

夏、商復屬冀州。

周定王十四年(前529)晉置銅鞮邑。

周靈王十二年(前560)，晉悼公把銅鞮封給晉大夫羊舌氏為食邑。

周敬王六年(前514)，晉頃公滅羊舌氏族，把銅鞮分為銅鞮(今沁縣)、楊氏(今洪洞)、平陽(今臨汾)，銅鞮轄境縮小(約包括今榆社、武鄉(xiāng)、沁縣、沁源、襄垣和屯留的一部分)。

周安王二十六年(前376)魏、韓、趙三家分晉，銅鞮屬趙。

秦王贏政十一年(前236)，秦兵二攻閼與城，占領(lǐng)趙國城邑九座，復置上黨郡，轄銅鞮。

東漢、三國、兩晉，銅鞮隸屬上黨郡。

十六國時期，銅鞮改隸并州鄉(xiāng)郡。

北魏建義元年(528)，復置襄垣郡，分銅鞮、襄垣，設五原縣，屬襄垣郡，并置烏蘇城。

北齊天保九年(558)，撤襄垣郡，五原縣復歸銅鞮、襄垣。

隋開皇三年(583)，廢鄉(xiāng)郡，銅鞮歸潞州。

大業(yè)元年(605)，撤甲水縣(治在今南涅水村)，歸銅鞮、鄉(xiāng)縣。

唐武德元年(618)，銅鞮隸屬韓州。

武德三年(620)，析銅鞮、鄉(xiāng)縣復置甲水縣。

武德九年(629)省甲水縣，復歸銅鞮、鄉(xiāng)縣。

貞觀十七年(643)廢韓州，銅鞮隸河東道潞州。

永徽六年(655)，銅鞮始隸沁州。

顯慶四年(659)仍歸潞州。

五代十國時，銅鞮縣先后屬唐、晉、漢之潞州。

宋太平興國二年(977)，在銅鞮縣亂柳(今段柳村)石圍建威盛軍(今沁縣城)，屬河東路，隸銅鞮、武鄉(xiāng)。

靖康元年(1126)十月，金兵南下，威勝軍刺史李植率眾投降，威勝軍改綿陽郡，屬河東南路，銅鞮隨金。

天會六年(1128)，改綿山郡為沁州。

元光二年(1223)，升沁州為義勝節(jié)鎮(zhèn)軍，領(lǐng)銅鞮、武鄉(xiāng)、沁源、綿上四縣及南關(guān)鎮(zhèn)。

明洪武初年，省銅鞮縣入州，直隸山西布政司，領(lǐng)武鄉(xiāng)、沁源二縣。

萬歷二十四年(1596)五月，改屬汾州府。

萬歷三十二年(1604)仍直隸山西布政司。

清沿明制，沁州仍為山西省直隸州，歸冀寧道，領(lǐng)武鄉(xiāng)、沁源二縣。

1912年，廢沁州改稱沁縣。

1930年，廢道，直屬山西省，劃為二等縣。

1937年10月屬山西省第三行政區(qū)，行政公署駐沁縣。

1939年7月5日，日軍二次侵占沁縣城，四年9月，抗日政府設路東辦事處。

1941年9月，設晉冀豫邊區(qū)太岳區(qū)，共四個專區(qū)，沁縣屬于一專區(qū)。

1942年3月，漳源縣并入沁縣。

1945年10月1日，沁縣屬山西省長治專區(qū)，轄第一至第五個行政區(qū)。

1953年5月，實行鄉(xiāng)、村建制。

1956年3月，擴大鄉(xiāng)區(qū)劃，撤銷區(qū)建制，將79個鄉(xiāng)合并為29個鄉(xiāng)。

1958年8月至9月，成立人民公社，將29個鄉(xiāng)改制為火箭人民公社、上游人民公社、太陽紅人民公社、衛(wèi)星人民公社、太陽人民公社、前進人民公社6個人民公社。

1958年9月，沁縣與襄垣縣合并，稱襄沁縣，縣機構(gòu)駐沁縣。

10月，沁源縣與襄沁縣合并，稱沁縣。

1958年，長治專區(qū)改稱晉東南專區(qū)，沁縣隸屬其下。

同年11月，襄垣、沁縣、沁源三縣合并為襄垣縣。

1959年3月，增設松村、次村2個人民公社。

1959年7月、9月，沁源縣和襄垣縣先后從沁縣分出，恢復原建置。

1963年2月，將9個人民公社劃為22個人民公社。

1971年楊安人民公社劃歸屯留縣，1972年楊安人民公社復歸沁縣。

1985年4月，國務院撤銷晉東南地區(qū)，實行市管縣體制，沁縣屬長治市管轄。