耀州自有人類活動距今已有五、六千年歷史，《資治通鑒綱目》有母系氏族領(lǐng)袖“陰康氏治于華原”的記載。

夏商時，各地氏族部落先后結(jié)成方國，據(jù)《陜西通志·夏商國邑考》記載，時雍州有國邑43個，位于漆沮之間的華原即屬其一。

三代以前為雍州之城，秦屬內(nèi)史地。

西漢景帝二年（前115年）于今河?xùn)|堡西側(cè)始置祋祤縣，三國魏黃初元年（220年）徒甘肅之泥陽僑置于祋祤，改祋祤為泥陽縣，隸北地郡并兼為北地郡治。

隋開皇六年（586年）泥陽縣更名華原縣并移治今城區(qū)。

唐垂拱二年（686年）為避武則天祖諱，華原縣改稱永安縣，神龍元年（705年）復(fù)名華原縣。

唐天祐三年（907年）李茂貞改華原縣置耀州。

元屬奉元路。

明、清屬西安府。

1913年廢州，設(shè)立耀縣，屬關(guān)中道。

1949年10月屬三原分社，轄廟灣、柳林、瑤曲、龍首、安王、小丘、袁文、孝義、照金、城關(guān)、石人、寺溝12個區(qū)，74個鄉(xiāng)。

1950年5月屬咸陽專區(qū)，撤銷龍首、廟灣、安王3區(qū)，轄9個區(qū)，63個鄉(xiāng)。

1953年1月屬渭南專區(qū)，撤銷石人區(qū)，轄8個區(qū)，53個鄉(xiāng)。

1956年2月撤區(qū)并鄉(xiāng)，轄城關(guān)鎮(zhèn)和柳林、瑤曲、小丘、照金4個區(qū)及王益、寺溝、稠桑、郭家、孫塬等6個直屬鄉(xiāng)。

1956年10月屬省。

1958年9月撤銷區(qū)鄉(xiāng)建制，成立紅旗、五星、樓村、小丘、照金、柳林、瑤曲、王益8個公社；同年12月撤銷耀縣并入銅川市，下設(shè)耀城、小丘、柳林3個公社，有20個管理區(qū)。

1961年8月復(fù)設(shè)耀縣，仍屬渭南專區(qū)，下設(shè)城關(guān)、孫塬、寺溝、稠桑、下高埝、柳林、瑤曲、安里、小丘、阿子、照金、白瓜、樓村13個公社。

1964年6月城關(guān)公社改設(shè)為鎮(zhèn)。

1965年6月劃入原銅川市演池、石柱、王家砭3個公社，共轄1個鎮(zhèn)、15個公社。

1969年屬渭南地區(qū)。

1980年1月屬銅川市。

1983年5月撤銷公社，轄1個鎮(zhèn)15個鄉(xiāng)。

1984年9月撤銷照金、瑤曲、王家砭3鄉(xiāng)，分別設(shè)立照金鎮(zhèn)、瑤曲鎮(zhèn)、董家河鎮(zhèn)。

1985年1月柳林鄉(xiāng)一部分劃出，設(shè)立廟灣鎮(zhèn)，轄5鎮(zhèn)12鄉(xiāng)；1995年6月撤銷柳林鄉(xiāng)，設(shè)立柳林鎮(zhèn)。

1997年10月撤銷稠桑、小丘2鄉(xiāng)，分別設(shè)立關(guān)莊鎮(zhèn)、小丘鎮(zhèn)。

1998年10月撤銷樓村鄉(xiāng)，設(shè)立坡頭鎮(zhèn)。

2001年12月撤銷阿子鄉(xiāng)并入關(guān)莊鎮(zhèn)。

2002年6月撤銷耀縣建制，設(shè)立耀州區(qū)，銅川市人民政府遷駐耀州區(qū)。

同年11月撤銷白瓜、安里2鄉(xiāng)，分別并入小丘鎮(zhèn)和柳林鎮(zhèn)。

2004年10月撤銷下高埝鄉(xiāng)，分設(shè)正陽路、咸豐路2街道。

2005年7月撤銷城關(guān)鎮(zhèn)，分設(shè)永安路、天寶路2街道。

2011年7月撤銷寺溝鎮(zhèn)，分設(shè)錦陽路街道。

2011年7月撤銷柳林鎮(zhèn)建制，分別并入照金、廟灣、石柱、關(guān)莊等鄉(xiāng)鎮(zhèn)；2012年7月17日，石柱改鄉(xiāng)建制為鎮(zhèn)；2014年撤坡頭鎮(zhèn)設(shè)坡頭街道辦事處。

2015年鎮(zhèn)村綜合改革時析演池鄉(xiāng)入石柱鎮(zhèn)，共轄6個街道、7個鎮(zhèn)，沿用至今。