春秋為晉野王邑。

戰(zhàn)國初為衛(wèi)都。

秦屬三川郡。

西漢高祖二年（前205）改野王邑為野王縣，屬河內(nèi)郡。

新朝改野王縣為平野縣。

隋開皇初郡廢，十六年（596）改野王縣為河內(nèi)縣，屬懷州。

大業(yè)初廢州，復(fù)置河內(nèi)郡，并置安昌縣。

唐武德二年（619）復(fù)懷州，僑置濟源之柏崖城，安昌縣改名武德縣。

北宋熙寧六年（1073）廢武德縣入河內(nèi)縣，屬懷州河內(nèi)郡。

金屬南懷州。

元屬懷孟路，后改為懷慶路。

明、清屬懷慶府。

1913年廢懷慶府，改河內(nèi)縣為沁陽縣，屬豫北道。

1914年屬河北道。

1927年直屬河南省。

1933年屬河南省第四行政督察區(qū)。

1949年屬平原省新鄉(xiāng)專區(qū)。

1952年屬河南省。

1960年溫縣并入。

1961年溫縣析出復(fù)置。

1969年屬新鄉(xiāng)地區(qū)。

1986年改屬焦作市。

1989年撤縣，設(shè)立縣級沁陽市。